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Mesure et surveillance des outils semi-conducteurs

Des dispositifs de mesure précis et stables permettent de contrôler avec précision les microenvironnements proches des outils semi-conducteurs.

Vaisala propose des modules OEM compacts pour mesurer l'humidité relative et la pression barométrique.

Semiconductor tool manufacturing, monitoring while manufacturing semiconductor tools, microenvironment monitoring systems from Vaisala.
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